纳米三维表面轮廓仪等仪器试运行通知-手机版亚博

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纳米三维表面轮廓仪等仪器试运行通知

发布时间:2022-11-08|供稿部门:| 点击:

各研究团队:

我院购置的纳米三维轮廓仪、四探针检测仪、全自动离子减薄仪及精研一体机,已完成技术验收,即日起试运行。

contour x200纳米三维表面轮廓仪是多功能的桌上光学表面分析系统,可以进行精密、快速、3d表面测量,可用于微小光学元件表面面形、表面粗糙度、和台阶高度及曲率半径的校准和分析。垂直分辨率≤0.01 nm,台阶高度误差≤0.75%。

4d 280si四探针测量仪可用于测试硅晶片及扩散层、外延层、ito导电薄膜、金属薄膜等材料的电阻和方块电阻。测量尺寸为100-200 mm直径圆片,测量范围为0.001欧姆/平方至800000欧姆/平方。

em res102全自动离子减薄仪可对样品进行离子减薄和离子束抛光,以去除机械抛光的表面应力涂抹层,获得真实且平整的样品内部信息,以适合于扫描电镜观察、原位元素分析及ebsd分析。最大样品尺寸直径25 mm,高度12 mm。

em txp精研一体机用于样品的机械预加工,配备有一系列工具和一体化显微观察系统,可对样品进行铣削、切割、修块、研磨、抛光及冲钻等加工,并可实时显微观察。

欢迎有测试需求的科研院所师生及榆林企业用户参与测试。

纳米三位轮廓仪联系人:梁嘉乐18165127633

邮箱:liangjl@dnlyl.ac.cn

四探针检测仪联系人:肖田田18821618663

邮箱:xiaott@dnlyl.ac.cn

全自动离子减薄仪、精研一体机联系人:曹元甲13571214011

邮箱:caoyuanjia612@dnlyl.ac.cn

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